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电子陶瓷用SiC/Al2O3质层状复合型承烧板的研制

摘要

研制了外层分别为莫来石-刚玉质和刚玉质材料、中间层为SiO2结合SiC材料的两种型式的电子陶瓷用SiC/Al2O3质层状复合型承烧板,对材料物理性能、物相组成、显微结构和抗热震性进行了研究分析,并进行了工业试用.研究表明,所研制的承烧板性能指标达到当前同类先进产品的指标,工业试用效果良好.

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