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带栅极结构硅纳米线场发射阵列的研究

摘要

本文采用纳米掩模自组装和等离子体各向异性刻蚀相结合的技术,制备出了带栅极结构的单晶硅纳米线场发射阵列.场致电子发射测试结果表明,制备的硅纳米线场发射阵列具有较低的开启电压,其开启电压为25V.

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