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影响有阀微泵性能的主要因素研究

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本研究采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式有阀微泵,泵的外形尺寸为(14×14×3)mm3,泵腔体体积约20mm3,硅阀片厚度在25μm～30μm之间.通过大量试验测试,分析了泵压与工作频率;流量与工作频率的关系.当工作电压为145V、频率为100Hz时,有阀微泵稳定工作的泵压可达2m水柱高,最大流量13mL/min.分析认为:有阀微泵工作不稳定是由气穴现象造成,引起气穴产生的主要因素有:工作频率,阀片结构,以及压电驱动元件.

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来源
《第九届全国敏感元件与传感器学术会议》|2005年|272-274|共3页
会议地点西安
作者
鲍志勇; 王蔚; 刘晓为; 王喜莲;
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作者单位

中国电子学会;

中国航空学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类泵;
关键词
MEMS; 微泵; 压电驱动;

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