调谐半导体激光吸收光谱监测大气痕量气体研究

摘要

调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)技术是利用二极管激光器波长调谐特性,获得被测气体的特征吸收光谱范围内的吸收光谱,从而对污染气体进行定性或者定量分析.在空气痕量气体检测中,一般需要和长光程吸收池相结合使用.调谐半导体激光吸收光谱法就是在调谐半导体激光器与长光程吸收池技术相结合的基础上发展起来的一种新的痕量气体检测方法.这种方法不仅精度较高,选择性强而且响应速度快.已经广泛用于大气中多种痕量气体的检测以及地面的痕量气体和气体泄漏的检测.本文介绍了一种TDLAS系统的浓度标定方法,从理论上进行了分析,然后通过实验证明了这种方法的可行性.

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