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利用离子交换技术制备玻璃波导环形谐振腔的实验研究

摘要

本文利用棱镜耦合测量技术和反WKB计算方法,系统地研究了K9玻璃Ag+-Na+离子交换过程中熔盐配比、交换时间和交换温度等工艺参量对波导性能的影响,建立了波导折射率分布与离子交换工艺参数之间的联系,得到Ag+-Na+离子交换玻璃波导折射率分布符合高斯函数形式,折射率的最大改变量主要由熔盐中Ag+的浓度来决定,扩散系数与交换温度呈指数增长,波导的等效深度与交换时间满足超线性的增长关系的结论.并在此基础上制备波导环形谐振腔滤波器,观测到典型的谐振特性,该滤波器的自由光谱范围为FSR=0.176nm,对比度为4dB.

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