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溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究

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采用溶胶-凝胶工艺,以醋酸钡,氧化锶,钛酸丁酯为原料制备了Ba<,0.8>Sr<,0.2>TiO<,3>溶胶,利用提拉法在Pt/TiO<,2>/SiO<,2>/Si衬底上制备BST薄膜,采用XRD衍射分析仪系统研究了不同热处理条件下制备的BST薄膜的晶相结构.结果表明:热处理温度在600℃以上时,BST薄膜形成了较为完整的ABO<,3>钙钛矿结构,且随热处理温度升高,热处理时间的延长,晶体生长沿(110)的取向性越好,结晶状况明显改善.

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来源
《第三届中国热处理活动周暨第六届全国热处理生产技术改造会议》|2005年|266-269|共4页
会议地点西安
作者
李莺; 张卫华; 赵高扬;
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作者单位

中国机械工程学会;

全国热处理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类其他热处理;
关键词
钛酸锶钡; 溶胶凝胶; 热处理工艺; 衍射分析;

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