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衍射光学元件加工中的对心研究

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为了解决平凸折衍混合透镜套刻加工中的对准问题,本文设计了一套进行套刻对准的实验路径.以机械轴为参考基准,使掩模板的环带中心和器件球面的对称轴分别与之对准,最终实现套刻过程中掩模板和器件对称轴的对准.最后根据加工实际情况进行了计算,对于口径是92mm的衍射元件,得到的对准误差为2.125μm,能够满足系统的要求.采用计算机等辅助手段,可实现亚微米量级的对准精度。

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来源
《第五届全国精密工程学术研讨会》|2005年|1-4|共4页
会议地点深圳
作者
康福增; 中国科学院; 卢振武; 李凤有; 张红鑫; 中国科学院; 赵晶丽; 张云翠; 中国科学院;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类干涉与衍射;
关键词
套刻对准; 机械轴; 干涉; 衍射光学元件; 光学元件加工; 套刻加工;

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