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功能陶瓷(玻璃)与金属材料阳极键合的机理研究及应用进展

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摘要

阐述了功能陶瓷、玻璃等无机非金属材料与金属及半导体材料进行阳极键合的键合机理、在MEMS中的应用及其发展前景;列举了阳极键合在MEMS生产过程中的一些最新应用实例;指出了其在MEMS的生产制造过程中存在的一些问题及今后的研究方向.

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来源
《2005年全国功能材料学术年会》|2005年|42-45|共4页
会议地点重庆
作者
孟庆森; 秦会峰; 宋永刚;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

功能材料信息编辑部;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类加热加压;金属－非金属复合材料;
关键词
功能陶瓷; 阳极键合; 单晶硅; 微电子机械;

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