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实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响

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从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用.

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来源
《TFC'2005全国薄膜技术学术研讨会》|2005年|17-1927|共4页
会议地点大连
作者
曾飞; 高阳; 樊宇伟; 潘峰;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类磁学;
关键词
Co-Cu合金薄膜; 离子束辅助沉积; 入射角度; 易磁化;

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