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X射线衍射和纳米压痕法测试铁电薄膜的力学性能

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根据压电本构关系和布拉格方程,提出了利用X射线衍射技术测量压电薄膜残余应力的扩展模型.采用D500织构测角仪和sin<'2>ψ法获得模型中的实验参数,测量了脉冲激光沉积法(PLD)制备PZT压电薄膜的残余应力.考虑压电效应的影响,提出了弹性地基梁模型,并采用纳米压痕实验和原子力显微镜(AFM)观测对PZT压电薄膜进行了测量.实验表明,薄膜的剥落被简化成界面裂纹的扩展问题,弹性地基梁模型可用来较准确地确定铁电薄膜的界面强度.

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来源
《祝贺郑哲敏先生八十华诞应用力学报告会》|2004年|291-300|共10页
会议地点北京
作者
郑学军; 周益春;
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作者单位

中国力学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜物理学;压电现象、电致伸缩;
关键词
压电薄膜; X射线衍射; 原子力显微镜; 纳米压痕法; 残余应力; 界面强度;

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