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Ni/SiO<,2>纳米复合涂层的结构与光学性质研究

摘要

采用射频磁控溅射方法制备Ni/SiO<,2>纳米复合涂层,获得了镍成分为7.25﹪(at)(LNi)、13.96﹪(at)(MNi)、19.20﹪(at)(HNi)3种复合涂层,研究了该复合涂层的组织结构与光学性质.结果表明LNi纳米复合涂层的晶粒尺寸为10~15nm,随着镍含量提高,涂层的晶粒尺寸增大,纳米Ni颗粒的形状发生变化;LNi复合涂层在300~350nm存在显著的光吸收,随着晶粒尺寸增大,光吸收边发生显著的红移.

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