首页> 中文会议>第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议 >面向高性能电子产品的微、纳米制造技术

面向高性能电子产品的微、纳米制造技术

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

高性能电子产品制造的发展方向是：高精度(控制精度趋于纳米级、加工精度趋于亚纳米级)、超微细(芯片线宽向90 nm、运动副问隙向8nm以下发展)、高加速度(芯片封装运动系统加速度向12g以上发展)和高可靠性(芯片千小时失效率要求小于1/10’).上述四个方面主要涉及的共性关键技术有：微/纳米结构制造技术.纳米间隙控制技术,微连结技术、纳米精度加工技术、高速度高精度运动控制技术、数字化制造技术等.

著录项

来源
《第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议》|2004年|43-47|共5页
会议地点福州
作者
雒建斌; 温诗铸;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;制造工艺及设备;
关键词
电子产品; 微纳米制造; 制造装备; 控制精度; 运动控制;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 适用于超高性能电子产品中积层多层板制造技术 [J] . . 电子信息：印制电路与贴装 . 2000,第010期
2. 面向半导体器件的电化学微纳制造技术 [J] . 韩联欢 ,杜炳谦 ,许瀚涛 . 厦门大学学报（自然科学版） . 2020,第005期
3. 基于聚焦离子束纳米剪纸/折纸形变的三维微纳制造技术及其光学应用 [J] . 陈珊珊 ,刘幸 ,刘之光 . 物理学报 . 2019,第024期
4. 微/纳米制造技术的摩擦学挑战 [J] . 雒建斌 ,何雨 ,温诗铸 . 摩擦学学报 . 2005,第3期
5. 生物制造--一种新型微/纳米制造技术 [J] . 张德远 ,黎向锋 ,李雅芹 . 航空制造技术 . 2001,第004期
6. 面向灾害应用的高性能遥感微纳卫星一体化技术研究 [C] . 傅丹膺 ,FU Danying ,ZHOU Yu . 中国宇航学会先进小卫星技术与应用专业委员会第一届学术交流会暨第四届小卫星技术交流会 . 2017
7. 面向介入医疗导管的聚合物微挤出模具设计制造技术与工艺研究 [A] . 靳国宝 . 2013

面向高性能电子产品的微、纳米制造技术

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅