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磁过滤阴极弧法所制TiN薄膜的摩擦学性能研究

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用带有平面“S”形过滤管的磁过滤阴极弧设备(FACP)在不锈钢基底上制备了TiN薄膜，以往复球盘模式评价了薄膜的摩擦学性能.同时在相同沉积参数下，又用多孤镀(MAIP)制备TiN薄膜，发现FACP技术制备出的薄膜表面光滑，缺陷少，普遍有明显的(111)面择优取向，而MAI制备出的薄膜表面有较多大小不一的颗粒和孔洞且无明显取向。摩擦试验中，低载荷时，FACP薄膜表现出较好的耐磨性。通过SEM观察和BDS分析发现，有TiN磨屑沉积在其磨斑上.而对MASIP薄膜，无转移物质,摩擦系数保持在0.8到0.9之间。

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来源
《第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议》|2004年|120-122|共3页
会议地点福州
作者
张玉娟; 吴志国; 阎鹏勋;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类摩擦与磨损;特种结构材料;
关键词
氮化钛; 磁过滤等离子体; 纳米薄膜; 摩擦学性能;

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