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用于固体核径迹探测器的电化学蚀刻系统

摘要

在固体核径迹探测器用于辐射测量中,辐射后的蚀刻技术是关键技术之一.为了提高CR-39探测器的灵敏度,研制了电化学蚀刻系统.电化学蚀刻系统由变频变压电源、变压器、蚀刻槽和恒温加热器组成.电源输出范围为1Hz-100MHz,输出波形为正弦波,输出电压最大为5V.经功率放大输出和变压器后,其输出电压最大值为1600千伏(在2KHz下),可提供最大场强为100kV/cm(对300um).

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