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一种用于Yb:YAG激光器的波长分离膜的研制

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本文以1030nm高反,940,980nm高透的波长分离膜作为实例,为提高该薄膜元件的波长分离效果,从膜系的优化方面做了一系列的研究,诸如采用带通滤光片的设计思想,在膜堆两侧加入了匹配层,调整膜堆的周期厚度,并用膜系设计软件对通带作进一步的优化.通过这一系列的优化设计后,利用RF双离子束溅射工艺在BK7玻璃基底上沉积样品薄膜,并在基底背面加镀通带增透膜.结果显示,透射带在940和980nm处的透过率分别为97.73％和93.63％,反射带在1030nm的反射率为99.99％.对所制备的样品薄膜进行了激光损伤阈值测量,得到了35J/cm2(1064nm,12ns)的结果.

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来源
《2004全国全固态激光技术与应用会议》|2004年|167-170|共4页
会议地点四川绵阳
作者
张伟丽; 黄建兵; 赵元安; 邵建达; 范瑞瑛; 范正修;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类激光器;薄膜物理学;
关键词
波长分离膜; 损伤阈值; 膜系; Yb:YAG; 激光器; 薄膜元件;

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