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在线电容式RF MEMS开关的模拟与优化

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为了快速准确地设计性能良好的RF MEMS开关,本文用HFSS软件对RF MEMS开关进行S参数仿真,对不同结构尺寸的开关进行优化.通过模拟分析了在线电容式RF MEMS开关的射频性能,得到了RF MEMS开关的一些设计考虑.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|357-360|共4页
会议地点北京
作者
魏华征; 胡梅丽; 郑莹; 郭方敏; 赖宗声;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类各种开关;
关键词
HFSS; RF MEMS开关; S参数;

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