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Si-SiO<,2>-PI结构湿度传感器的特性研究

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采用Si-SiO<,2>-PI结构制备了聚酰亚胺电容式湿度传感器,对该种传感器的特性进行了测试,并与传统夹层式结构的样品进行了对比.研究表明,Si-SiO<,2>-PI结构的湿度传感器在同等测试条件下,其电容值要比传统结构样品高25﹪,并且特别利于克服薄膜孔洞和厚度不均匀造成的短路现象,有利于批量生产.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|381-384|共4页
会议地点北京
作者
谢琼; 常爱民; 杨文; 康健;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
湿度传感器; 聚酰亚胺; 结构; 特性;

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