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全数字式容栅位移传感器及其速度极限分析

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全数字式容栅位移传感器具有结构简单性价比高等优点,但提高分辨率和灵敏度与提高动尺相对定尺的运动速度是一对矛盾.本文介绍了全数字式容栅位移传感器的系统构成和工作原理,分析了极板参数对速度极限和灵敏度的影响,最后给出了部分实验数据.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|292-295|共4页
会议地点北京
作者
奚锦文; 蔡萍; 沈生培;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
容栅位移传感器; 速度极限; 周期测量;

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