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微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

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介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.分析了误差的来源及其对实验结果的影响.报道了低应力和标准LPCVD氮化硅薄膜的研究结果.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|129-134|共6页
会议地点北京
作者
宗登刚; 王聪和; 王钻开; 鲍海飞; 陆德仁;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
微机械; 微桥法; LPCVD氮化硅; 杨氏模量; 残余应力; 弯曲强度;

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