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高隔离度微波微机械接触式开关

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本文主要讨论了微波微机械接触式开关的设计、工艺制备和测试结果.我们所设计的接触式开关不同于以往所使用的悬臂梁式的结构,而是采用了桥式结构.当驱动电压大于吸合电压时,悬浮桥与传输线吸合,使开关导通.在不加电压时,开关为关闭状态.开关的制备是以金-氮化硅-铝的复合结构为悬梁,以聚酰亚胺为牺牲层.实验测试的结果为微机械开关在0.5-5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度可达30-50dB.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|334-337|共4页
会议地点北京
作者
胡梅丽; 魏华征; 茅惠兵; 赖宗声; 忻佩胜;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN631;
关键词
微机械; 接触式开关; 悬浮桥; 牺牲层; 插入损耗; 隔离度;

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