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石英微机械陀螺研究

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石英微机械陀螺具有体积小、质量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、耐恶劣环境、易于实现数字化和智能化等优点,在近年来,受到了广泛关注和研究.本文介绍了一种音叉式石英微机械陀螺的设计,通过石英各项异性腐蚀工艺予以实现,并对其进行了性能实验.本文简要阐述了零位漂移误差的基本内容及分析结果,提出了进一步改进的方向.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|244-247|共4页
会议地点北京
作者
邹江波; 张志宇; 滕纲; 陈巍;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.15;
关键词
微机械; 陀螺; 石英;

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