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压电驱动式小型陀螺的理论分析与仿真

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摘要

提出利用压电双晶片作为驱动,把用微机械工艺加工制作的"岛-梁"结构敏感头粘贴在压电双晶片的末端,从而敏感角速度的陀螺模型.建立敏感头质量的振动方程并求解,对陀螺进行动力学误差分析.用计算机分析软件求得压电双晶片的共振频率和敏感头质量振动的固有频率,确定结构尺寸,为制作该陀螺奠定了理论基础.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|311-316|共6页
会议地点北京
作者
王宏伟; 朱嘉林; 张伟;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
压电双晶片; 微机械; 陀螺;

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