首页> 中文会议>第八届敏感元件与传感器学术会议 >一种新颖的光调制热成像器件设计

一种新颖的光调制热成像器件设计

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

基于硅基微机械(MEMS)技术,本文提出了一种新颖的光调制热成像器件,其图像获取过程是红外信号→位移→可见光信号,而不是传统的红外图像→电图像→可见光图像.该器件实质上是由滤光片、半透镜和可动微镜阵列组成的法布里—泊罗干涉仪(F—P腔),可动微镜的反射面和半透镜的反射面构成F—P腔的两上反射面.通过理论计算和ANSYS模拟,对器件结构进行了优化设计,器件的关键性能指标—热灵敏度可达10<'-8>m/K.

著录项

来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|139-144|共6页
会议地点北京
作者
冯飞; 熊斌; 焦继伟; 王跃林;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外技术的应用;
关键词
光调制热成像; 微机械; 热灵敏度; 红外成像;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种基于组合光调制的光测电度表的设计 [J] . 陈新桥 ,陈纪东 ,乔松 . 光电子．激光 . 2002,第5期
2. 光电子技术与器件光调制与器件 [J] . 无 . 中国光学与应用光学 . 2007,第005期
3. 光电子技术与器件光调制与器件 [J] . 无 . 中国光学与应用光学 . 2007,第004期
4. 光电子技术与器件光调制与器件 [J] . . 中国光学 . 2007,第6期
5. 光电子技术与器件光调制与器件 [J] . . 中国光学 . 2005,第004期
6. 光调制热成像器件的研制 [C] . 张流强 ,杨根庆 ,解健芳 . 第四届全国微米/纳米技术学术会议 . 2000
7. 基于石墨烯包覆微纳光纤复合波导的光调制特性与器件研究 [A] . 朱纪文 . 2019

一种新颖的光调制热成像器件设计

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅