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脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用

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阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处.阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术,激光—LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术、以及EMS的激光辅助操控及装配技术.

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来源
《2003年中国机械工程学会年会》|2003年|238-244|共7页
会议地点深圳
作者
李艳宁; 唐洁; 胡小唐; 张国雄;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
脉冲激光; 微机电系统; 激光烧蚀; 激光—LIGA技术;

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