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粒子运动轨迹与磁场直拉硅技术中磁场方向的优选

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从带电运动粒子受磁场的作用出发,在研究了硅粒子团的带电状态后,分析在不同方向的外加磁场中,运动的硅粒子团受磁场作用的情况,研究磁场对硅熔体流动状态的作用结果,得到生长完美晶体所需的外加最有效的磁场是轴向磁场.为MCZ技术提供理论依据.

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来源
《第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会》|2003年|194-196|共3页
会议地点深圳
作者
张雯; 王胜利; 付生辉;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;
关键词
粒子运动轨迹; 磁场直拉硅技术; 磁场方向; 轴向磁场;

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