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电弧离子镀沉积Al-O-N高温扩散阻挡层的研究

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采用电弧离子镀技术在DSM11合金与NiCoCrAlY涂层间沉积Al-O-N高温扩散阻挡层薄膜,研究了不同O<,2>、N<,2>流量对Al-O-N薄膜相结构的影响及高温下Al-O-N薄膜阻挡合金元素互扩散的行为.实验结果表明,电弧离子膜法沉积的Al-O-N薄膜为多晶膜,具有α-Al<,2>O<,3>+六方AlN的相结构,随着N<,2>的增加,AlN相的含量增加.在1050℃下氧化100h后,Al-O-N层能有效阻挡DSM11合金中的Ti元素向外扩散,扩散阻挡层对涂层的氧化动力学影响不大.

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来源
《第十届全国高温合金年会》|2003年|457-460|共4页
会议地点北京
作者
王启民; 武颖娜; 柯培玲; 孙超; 黄荣芳; 闻立时;
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作者单位

中国金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类金属表面防护技术;
关键词
扩散阻挡层; 电弧离子镀; DSM11合金; NiCoCrAlY涂层; Al-O-N薄膜;

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