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二次电子像质量

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本文探讨在扫描电镜检测中,二次电子像的质量问题.详细介绍了电子束直径,SE的取样区,样品的自然衬度以及周围环境对图像分辨率的影响.

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来源
《第二届全国扫描电子显微学会议》|2003年|653-654|共2页
会议地点珠海
作者
郭莉萍; 吴东晓; 张大同;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH741.7;
关键词
扫描电镜; 二次电子像; 成像质量; 图像分辨率;

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