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脉冲激光热冲击对PZT压电薄膜性能的影响

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采用金属有机物热分解(MOD)法制备了锆钛酸铅(PbZrTiO<,3>PZT压电薄膜.应用高功率脉冲激光作用在PZT薄膜上,研究脉冲激光的热冲击对PZT薄膜性能的影响.发现经过激光作用后,PZT薄膜的铁电性能发生变化,剩余极化强度值变小,矫顽电压基本不变,疲劳性能变化不大,最后讨论分析了产生这种现象的微观机理.

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来源
《第12届全国高技术陶瓷学术年会》|2002年|372-375|共4页
会议地点广东佛山
作者
言智; 郑学军; 周益春; 唐新桂;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;压电陶瓷材料;
关键词
压电薄膜; 脉冲激光; 热冲击; 剩余极化强度; 矫顽电压偏移(△V.c); 铁电性能;

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