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标准漏孔及其校准

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本文通过介绍标准漏孔的工作原理,结构,分类和校准方法的基础上,论述标准漏孔的使用方法和应该注意的问题.

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来源
《中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会》|2002年|93-96|共4页
会议地点桂林
作者
刘秀林;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电真空测试技术与设备;真空检漏与仪器;
关键词
标准漏孔; 校准方法; 氦质谱检漏仪; 密封检漏;

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