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研磨技术发展到尖端CMP技术的发展过程和它的考察

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本研究是,考察和探讨研磨技术和研磨装置是在怎样的背景下发展下来.从而要关注充实我们的生活和提高我们生活水平的原动力的研磨技术的发展.另外,深入考察在生活和技术方面的相互关系.

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来源
《第三届中日机械技术史国际学术会议》|2002年|339-343|共5页
会议地点昆明
作者
戴宝泉; 土肥俊郎; 松尾政弘; 河西敏雄; 李华;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类研磨加工;
关键词
研磨技术; CMP技术; 研磨装置;

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