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过滤电弧沉积TiN、ZrN和TiN/CrN多层纳米薄膜的性能比较

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用过滤电弧离子镀(FAMIP)技术在高速钢基体上沉积了TiN、ZrN单层薄膜和TiN/CrN多层纳米薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜及其划痕的表面形貌;用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜的相组成,结合显微探针仪、划痕试验机、金相显微镜和钻床,研究了金属陶瓷单层和多层纳米薄膜的性能并进行比较.研究结果表明:3种薄膜的临界载荷值均大于80N,多层纳米薄膜的耐磨性明显优于2种单层薄膜.

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来源
《第七届全国摩擦学大会》|2002年|153-156|共4页
会议地点兰州
作者
李成明; 孙晓军; 曹尔妍; 吕反修; 唐伟忠;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀与气相镀法;薄膜物理学;
关键词
过滤电弧离子镀; 纳米多层薄膜; 摩擦学性能;

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