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激光器匹配电路中硅基微带线的研究

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对在硅基上制作微带线做了研究,发现金属布线和硅衬底之间的介质层对微带线的传输特性影响很大,在介质层SiO<,2>的厚度较薄(≤1μm)的情况下,硅的体电阻对微带线的传输特性影响很大,采用高阻硅可以制作传输特性良好的微带线;加厚布线层下面的介质层SiO<,2>可以改善微带线的传输特性,当SiO<,2>较厚(≥2μm)时,利用低阻硅也可以作出低损耗的微带线,基于以上的研究设计出了传输特性良好的特性阻抗为50ohm的微带线,为高频激光器的无源耦合提供了指导.

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来源
《第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》|2002年|564-567|共4页
会议地点厦门
作者
杨存永; 汪锁发; 韩振宇; 赵知夷; 吴德馨;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类激光器;
关键词
微带线; 电磁场分析; 硅基平台; 激光器; 传输特性; 匹配电路;

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