首页> 中文会议>第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 >异质外延用高质量蓝宝石单晶衬底片研制

异质外延用高质量蓝宝石单晶衬底片研制

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文通过实验,对影响蓝宝石单晶衬底片的质量参数进行了进一步的研究,对单晶控制,切割技术,研磨工艺和抛光工艺进行改进,以期取得更好实用效果.

著录项

来源
《第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》|2002年|208-211|共4页
会议地点厦门
作者
步云英; 谢礼丽; 于秉华; 王皎瑜; 苗福贺; 皮宝林;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.05;
关键词
蓝宝石单晶; 制备方法; 异质外延; 单晶制备;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 异质外延用硅单晶片边缘质量控制技术研究 [J] . 杨洪星 ,范红娜 ,刘玉岭 . 中国电子科学研究院学报 . 2017,第006期
2. 在c-面蓝宝石上控制生长高质量的ZnO单晶薄膜 [J] . 张权林 ,苏龙兴 ,吴天准 . 发光学报 . 2015,第010期
3. 蓝宝石单晶光纤高温仪的研制 [J] . 叶林华 ,沈永行 . 红外与毫米波学报 . 1997,第006期
4. 蓝宝石衬底片背面减薄磨削加工试验分析 [J] . 牛俊凯 ,张毅 ,韩欣 . 机械制造 . 2021,第007期
5. 蓝宝石衬底片切片设备浅析 [J] . 秦光临 . 山东工业技术 . 2017,第011期
6. GaN材料用蓝宝石单晶及衬底片的研究 [C] . 步云英 ,谢礼丽 ,张玲 . 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议 . 2001
7. GaN外延用蓝宝石衬底的图形化 [A] . 马文静 . 2018

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号