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秦跃利; 何文杰; 石磊; 谢飞;
中国电子学会;
TaN; 薄膜电阻; 热处理;
机译:嵌入式无源电阻器的反应溅射控制TaN薄膜的电阻率
机译:反应溅射制备的电极与TaN {sub} x薄膜电阻的接触电阻特性
机译:通过溅射沉积电极与TaN薄膜电阻器之间的接触电阻
机译:TaN薄膜电阻器的可靠性评估
机译:TiO_2薄膜的反应溅射沉积工艺分析参见用法统计
机译:TaN薄膜电阻器上低温氮化技术在温度传感器中的作用机理
机译:通过改进工艺提高TaN薄膜电阻器的功率容量
机译:无图案和图案化YBCO薄膜微波表面电阻功率依赖性的比较
机译:具有薄膜电阻层的导电性基材,具有薄膜电阻层的导电性基材的制造方法以及具有薄膜电阻层的电路基板
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