混合微电子技术的发展趋势

著录项

• 来源
  《中国电子学会第十二届电子元件学术年会》|2002年|29-33|共5页
• 会议地点 张家界
• 作者

  张经国; 杨邦朝;

  展开▼
• 作者单位

  中国电子学会;

  展开▼
• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 膜集成电路;制造工艺;
• 关键词

  多芯片组件; 3D-MCM; 混合微电子技术; 混合集成电路;