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基于分子束外延技术的光通信用光电子器件

摘要

外延生长是半导体材料和器件制造的最关键的工艺技术,半导体材料和器件的生长技术主要分为两类:金属有机化合物化学气相外延和分子束外延(MBE).本文主要介绍一些基于MBE技术较新的光纤通信领域的光电子材料和器件.

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