首页> 中文会议>第六届全国分子束外延学术会议 >GSMBEIn0.53Ga0.47AsPIN高速光电探测器

GSMBEIn0.53Ga0.47AsPIN高速光电探测器

摘要

本文报道了采用GsMBE方法研制的In<,0.53>Ga<,0.47>AsPIN探测器,通过在器件结构中引入了宽禁带InP窗口层和聚酰亚胺钝化工艺,减小了暗电流,提高了性能,采用半导体参数测试仪对器件的I-V特性进行了测量.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号