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微电子机械系统的进展与应用前景

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本文论述了微电子机械系统(MEMS)的内涵,分析了MEMS近年来的研究进展,以微型传感器微型执行器为例,探讨其设计思想,主要加工技术及应用前景.

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来源
《2001年全国电源技术应用研讨会,2001年全国电子元器件应用研讨会》|2001年|178-181|共4页
会议地点北京
作者
王长河;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;机电一体化;
关键词
微机械; 微结构; 传感器; 执行器; 微电子学; 微电子机械系统;

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