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‘无触发’磁过滤式阴极真空弧等离子体源

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真空弧不仅广泛应用于高电压和高电流的真空开关,而且由于它的高电离度也被广泛应用于薄膜沉积和离子注入.真空弧触发一般可以采用机械触发、高电压触发和激光触发.但是,这些触发方式都需要在阴极表面施加额外的能量.本文阐述了一种新的‘无触发’磁过滤式阴极真实弧等离子体源.它利用阳极和阴极之间的100-200V的低电压来点燃真空弧,不需要额外的触发电极.从阴极表面喷射出的等离子体流通过一个90度的大颗粒过滤弯管引出.30mT的环形磁感应强度足够有效去除等离子体中的大颗粒.该离子源工作于脉冲模式,脉冲宽度为1-5ms,重复频率为1-10Hz.

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来源
《'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议》|2001年|19-23|共5页
会议地点海口
作者
唐德礼; 童洪辉; 蒲世豪; 马文强; 陈庆川; 龚晓荣;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类产生;
关键词
真空弧; 磁过滤; 等离子体源;

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