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厚膜微带技术研究

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本文论述了制作厚膜微带电路的工艺技术途径,并对其膜厚的致密性作了进一步的研究,研制的样品在11GHz下进行微波性能测试,表现出良好的特性.

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来源
《第十二届全国混合集成电路学术会议》|2001年|24-287|共6页
会议地点合肥
作者
时国忠; 党耀石;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微波混合集成电路（微波集成电路）;
关键词
光刻; 微带电路; 厚膜技术; 微波性能; 致密性;

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