薄膜微波电路制造新工艺

著录项

• 来源
  《第十二届全国混合集成电路学术会议》|2001年|50-52|共3页
• 会议地点 合肥
• 作者

  王丛香; 刘刚; 杨中华;

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• 作者单位

  中国电子学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 薄膜混合集成电路（薄膜电路）;制造工艺;
• 关键词

  薄膜微波电路; 一次性蒸厚铜; 铬层钝化; 化学镀镍; 化学镀金; 制造工艺;