微机电系统的发展趋势及国内外研发状况

著录项

• 来源
  《中国科协2001年学术年会》|2001年|98-98|共1页
• 会议地点 长春
• 作者

  王立鼎;

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• 作者单位

  中国科学技术协会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 TP271.4;
• 关键词

  微机电系统; 微米机械; 系统功能; 系统技术;