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半导体厂制程排气系统之研究

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制程排气系统之设计,不仅须符合流量之要求,而且应考虑到系统压力平衡、噪音、震动、空间限制以及整体系统成本等相关问题.本研究以3C风管设计法对半导体厂制程排气系统作一设计.此3C风管设计法主要包含三个计算步骤:计算机辅助设计(Computer-Aided Design,CAD)、计算机辅助模拟(Computer-Aided Simulation,CAS)以及修正程序(Correction Processes,CP).其次,本文以实际案例作说明,以了解此方法的特性.证实此新风管设计方法,其计算程序简易,且在空间上或流动速度作某种程度的限制之下,同时可兼顾压力平衡.如此,不但可以缩短设计时程,防止人为计算上的误差,更可减少对设计者经验的依赖.

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来源
《第五届海峡两岸制冷空调技术交流会》|2001年|65-74|共10页
会议地点上海
作者
陈文亮; 范瑞展; 丁俊智; 陈希立;
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作者单位

中国制冷学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类无线电工厂;
关键词
空调风管; 风管设计; 制程排气系统; 半导体厂; CAD;

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