首页> 中文会议>中国声学学会2001青年学术会议 >薄膜材料中表面声波的光外差法检测

薄膜材料中表面声波的光外差法检测

摘要

本文利用激光照射于沉积在基片表面的薄膜上激光器表面声波,并利用外差光检测器探测表面声波位移.利用实验获得的色散曲线和已知基片参数,根据层次媒质中瑞利波传播理论,推算薄膜材料的厚度、弹性模量、密度等材料信息.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号