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桥式RF-MEMS开关材料对开关特性影响研究

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摘要

为了获得高性能RF-MEMS开关，该文对桥式RF-MEMS开关进行深入的静电与力学分析，得到了相关模型与公式，在此基础上讨论了器件几何结构参数、材料的力学和电学特性对开关参数的影响，指出通过改变间距、梁膜厚度，选用高介电常数材料可进一步提高开关性能。

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来源
《第一届全国纳米技术与应用学术会议》|2000年|243-246|共4页
会议地点厦门
作者
雷啸锋; 刘泽文; 李志坚; 刘理天;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类自动开关;
关键词
RF-MEMS; 开关; 通讯;

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