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微型MEMS高频开关技术

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一种表面微机械微型开关制作在硅、石英玻璃或半绝缘GaAs衬底上。它采用悬挂的SiON<,X>微型梁作为悬臂，铂－金接触，静电受激作为开关机理。这种开关被设计为：运行从直流到高频(4GHz左右)，应具有高(-40dB)的电隔离和低(0.2dB)的插入损耗。加工温度不超过250℃，确保开关具有微波、毫米波单片集成能力。

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来源
《第一届全国纳米技术与应用学术会议》|2000年|193-196|共4页
会议地点厦门
作者
郭方敏; 赖宗声; 初建朋;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类各种开关;
关键词
MEMS高频开关; 悬臂梁; 插入损耗; 隔离度;

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