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采用PZT薄膜的射频滤波器研究

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微机械加工技术是提高射频通信关端器件性能、缩小其体积的有效方法。文中介绍了应用MEMS(微电子机械系统)技术的体声波射频滤波器的原理、结构，分析了PZT的材料特性，优化了硅基薄膜的制备、退火、刻蚀等集成工艺，并在此基础上设计了以该材料为核心的射频滤波器，模拟了该器件的性能。

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来源
《第一届全国纳米技术与应用学术会议》|2000年|209-212|共4页
会议地点厦门
作者
刘燕翔; 任天令;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类滤波技术、滤波器;
关键词
射频滤波器; 谐振器; 微电子机械系统; 锆钛酸铅;

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