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纳米Si薄膜的压阻特性研究

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纳米Si薄膜由大量的超微Si晶粒和大量的晶粒间界面区组成。这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应。该文讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用，认为纳米Si薄膜材料是一种优秀的传感器材料。

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来源
《第一届全国纳米技术与应用学术会议》|2000年|3-5|共3页
会议地点厦门
作者
林鸿溢; 何宇亮;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;
关键词
薄膜; 纳米S; 薄膜; 压阻效应;

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