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一种微机械光开关理论分析

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对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析，利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析，基于机械和电学牧场生导出了弯曲和电压的关系，并给出阈值电的解析表式。

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来源
《第一届全国纳米技术与应用学术会议》|2000年|174-177|共4页
会议地点厦门
作者
贾玉斌; 陈良惠; 李玉璋;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类自动开关;
关键词
微机械(MEMS); 光开关; 悬臂梁; 光波导; 阈值电压;

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