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硅微谐振器的光激振机理研究

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基于一维热传导理论和热弹性力学理论,对带镀膜硅微谐振器的光激振机理进行了分析.逐一分析了‘光压效应’、‘轴向热应变效应’和‘双金属效应’,重点分析了‘双金属效应’,并推导出了相应的振幅模型.理论计算值与实测值的对比表明了文中理论分析的正确性.

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来源
《全国第六届电子测量与仪器学术报告会》|2000年|101-104|共4页
会议地点太原
作者
刘月明; 刘君华;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM212.12;TM938.867;
关键词
硅微谐振器; 光激振机理; 双金属效应; 传感器;

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